空间光调制器 X15213 系列
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空间光调制器 X15213 系列
LCOS-SLM 是反射空间光相位调制器,可自由调制光相位,而激光的光相位由液晶调制。光的波前控制可应用于光束光刻、像差校正。
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  • LCOS-SLM 是反射空间光相位调制器,可自由调制光相位。激光或其他照射光经过液晶的相位调制并被反射。可以自由控制波前形状。光的波前控制可应用于光束光刻、像差校正等。

    X15213 系列提供广泛的产品阵容,以满足各种波长的需求。所有类型都配备一个具有抗反射涂层的玻璃基板和一个带有振镜的 CMOS 芯片。

    推荐光束直径 (1/e2) 为 8 mm 或以上。

     

    ●铝镜型 (-01/-07/-08)

    铝镜型利用了 CMOS 芯片上铝电极的反射,具有较宽的反射波段,因此

    适用于较广的波长范围。

    ●介电多层镜型 (-02/-03/-05/-12/-13/-15/-16/-19)

    介电多层镜型的 CMOS 芯片表面上具有专门设计的介电多层膜,可支持

    各种波长的激光光源。与铝镜型相比,介质镜实现的反射率越高,

    内部吸收率就越低。可实现高光利用率。

    ●水冷型 (-02L/-02R/-03L/-03R/-03BL/-03BR/-12L/-12R/-15L/-15R/-16L/-16R/-19L/-19R)

    介电多层镜型的灯头具有内置水冷散热器,可抑制激光辐照引起的升温,

    并实现高功率处理能力。

    ●蓝宝石型 (-03CR/-03CL)

    除了水冷散热器外,蓝宝石玻璃还用于玻璃基板。因此,散热效率

    得以改进,功率处理能力超过 700 W。

    波长范围:

    LCOS-SLM 是反射空间光相位调制器,可自由调制光相位。激光或其他照射光经过液晶的相位调制并被反射。可以自由控制波前形状。光的波前控制可应用于光束光刻、像差校正等。

    X15213 系列提供广泛的产品阵容,以满足各种波长的需求。所有类型都配备一个具有抗反射涂层的玻璃基板和一个带有振镜的 CMOS 芯片。

    推荐光束直径 (1/e2) 为 8 mm 或以上。

     

    ●铝镜型 (-01/-07/-08)

    铝镜型利用了 CMOS 芯片上铝电极的反射,具有较宽的反射波段,因此

    适用于较广的波长范围。

    ●介电多层镜型 (-02/-03/-05/-12/-13/-15/-16/-19)

    介电多层镜型的 CMOS 芯片表面上具有专门设计的介电多层膜,可支持

    各种波长的激光光源。与铝镜型相比,介质镜实现的反射率越高,

    内部吸收率就越低。可实现高光利用率。

    ●水冷型 (-02L/-02R/-03L/-03R/-03BL/-03BR/-12L/-12R/-15L/-15R/-16L/-16R/-19L/-19R)

    介电多层镜型的灯头具有内置水冷散热器,可抑制激光辐照引起的升温,

    并实现高功率处理能力。

    ●蓝宝石型 (-03CR/-03CL)

    除了水冷散热器外,蓝宝石玻璃还用于玻璃基板。因此,散热效率

    得以改进,功率处理能力超过 700 W。

    波长范围:

  • 1、application_note_LCOS_E.pdf